发明公开
- 专利标题： 蚀刻装置及显示装置的制造方法
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申请号： CN202010552348.7申请日： 2020-06-17
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公开(公告)号： CN112775555A公开(公告)日： 2021-05-11
- 发明人: 金圭范 , 金道善 , 朴宰奭 , 李政燮 , 洪京浩 , 林在夏 , 韩圭完
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 车玉珠; 康泉
- 优先权： 10-2019-0141470 20191107 KR
- 主分类号： B23K26/362
- IPC分类号： B23K26/362 ; B23K26/12 ; B23K26/60 ; B23K26/70 ; H01L51/56
摘要：
本发明提供一种蚀刻装置及显示装置的制造方法。蚀刻装置包括：真空腔室，作为在内部对对象基板执行蚀刻工艺的真空腔室，在上表面包括透光窗；基板移送单元，设置在所述真空腔室的内部，并且在下部安置所述对象基板；以及至少一个激光模块，设置在所述真空腔室的外部，并且包括激光照射单元，所述激光照射单元通过所述透光窗向所述真空腔室的内部照射激光束(Laser Beam)来执行所述蚀刻工艺。
IPC分类:
