一种自驱动压力传感器及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种自驱动压力传感器及其制备方法。该自驱动压力传感器,包括基板、形成在所述基板的上表面的电极层、放置在所述电极层的上表面的且用于作为第一摩擦层的磁流体、设置在基板的下方的永磁体以及设置在所述磁流体的上方的第二摩擦层;所述第二摩擦层设置成在受到外界压力时朝向所述第一摩擦层方向移动,并通过与第一摩擦层接触并分离,从而产生电信号;所述磁流体和永磁体之间具有预设距离,且所述预设距离设置成可变的,以在所述预设距离发生改变时改变所述磁流体的形状,从而改变自驱动压力传感器的灵敏度。根据本发明的方案,通过改变永磁体与磁流体之间的预设距离,从而改变永磁体的形状,进而改变自驱动压力传感器的灵敏度。
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