本发明旨在高效且经济地制造一种SiO粉末，该SiO粉末为没有棱角的球形颗粒状且粒径小，并且由杂质引起的污染程度也很低。将作为SiO气体产生原料(9)的Si和SiO2的混合物装入坩埚(2)内。在减压条件下，加热坩埚(2)内部的混合物以产生SiO气体。使产生的SiO气体沉积于在坩埚(2)上旋转的析出基体(5)上。当将沉积在析出基体(5)上的SiO析出物(10)通过刀片(7)刮取时，刀片(7)的尖端与析出基体(5)的表面分离，以将沉积在析出基体(5)上的SiO析出物(10)的一部分残留在析出基体(5)上，同时将剩余的SiO析出物(10)通过刀片(7)刮取，并作为SiO粉末(11)回收。