本发明涉及电离技术领域，具体而言，涉及用于金属有机复合物的柔性电离装置；用于金属有机复合物的柔性电离装置包括脱溶剂机构、雾化机构和半导体制冷系统，脱溶剂机构设置有脱溶剂腔室；雾化机构包括雾化器和喷针，雾化器与脱溶剂机构连接，且雾化器的一端伸入脱溶剂腔室内；喷针插接于雾化器内，且喷针的端部从雾化器的端部伸出，且位于脱溶剂腔室内；半导体制冷系统用于冷却氮气，并将冷却后的氮气输送至脱溶剂腔室内以及雾化器内。用于金属有机复合物的柔性电离装置能够改善分子整体性被破坏的问题，有利于检测到分子离子峰，进而便于得到最接近容易状态的结构信息。