本发明公开以一种SF6断路器触头开启过程电弧等离子体多物理场有限元仿真分析方法，首先在COMSOL Multiphysics中构建SF6断路器灭弧室内部二维轴对称结构模型；然后对构建的结构进行有限元网格剖分和材料属性添加；其次添加模型物理场设置及边界条件，并进行瞬态求解器的配置；最后根据计算结果分析灭弧室内SF6气体的速度、温度、压力、电磁场和电弧特性的演变规律。本发明建立了一种中高压下SF6断路器触头工作过程电弧放电理论计算方法，仿真分析了灭弧室内电弧变化内在机理，对SF6断路器的理论分析和试验研究提供了基础。