发明授权
- 专利标题: 外差光纤干涉仪位移测量系统及方法
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申请号: CN202011297064.4申请日: 2020-11-18
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公开(公告)号: CN112484648B公开(公告)日: 2022-06-10
- 发明人: 孙国华 , 程朝奎 , 郭升莉
- 申请人: 北京华卓精科科技股份有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
- 专利权人: 北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人: 北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 王迎; 袁文婷
- 主分类号: G01B11/02
- IPC分类号: G01B11/02
摘要:
本发明提供一种外差光纤干涉仪位移测量系统及方法,其中的系统包括同时发射测量光和参考光的激光光源组件、基于第一单模光纤依次设置在测量光的光路上的第一光电探测器、第一光纤耦合器、光纤套圈、平凸透镜、第一偏振分光棱镜和反射装置,以及基于第二单模光纤依次设置在参考光的光路上的第二光电探测器、第二光纤耦合器、准直器、第二偏振分光棱镜和反射装置;其中,待测物体固定在反射装置上;对参考光和测量光进行处理,形成测量信号及参考信号,并根据测量信号及参考信号确定待测物体的位移信息。利用上述发明能够实现高精度的位移检测。
公开/授权文献
- CN112484648A 外差光纤干涉仪位移测量系统及方法 公开/授权日:2021-03-12