本发明涉及二氧化碳激光器用的钼反射镜及其制备方法，包括如下步骤：S1，将原材料钼板热轧成坯料，将所述坯料进行热冲制成钼圆片；S2，将所述钼圆片进行双面粗磨和车边，以及在所述钼圆片的两个表面的边沿一周制成具有倒角的边沿，双面粗磨磨掉表面粗糙层并控制厚度，车边控制直径；S3，对所述钼圆片进行初步双面研磨，进一步控制厚度，初步控制表面粗糙度，然后进行二次双面研磨，研磨完成后进行超声波清洗去污；S4，然后对所述钼圆片进行双面抛光，抛光完成后进行超声波清洗去污，质检后即得到钼反射镜，所述钼反射镜用于二氧化碳激光器中，所述钼反射镜为双面抛光型，所述钼反射镜的反射率≥99％、表面粗糙度≤0.015μm。