一种生物传感器和生物传感器的制备方法
摘要:
本发明公开了一种生物传感器。该生物传感器包括:CMOS传感器、反应电极和微孔阵列;所述微孔阵列包括多个微孔结构;所述微孔结构位于所述CMOS传感器的栅极叠层电极所在区域,所述微孔结构露出所述CMOS传感器的栅极叠层电极;所述微孔结构内露出的所述CMOS传感器的栅极叠层电极上设置有生物反应探针;所述微孔结构用于容纳样品溶液;所述反应电极围绕所述微孔结构设置,与所述样品溶液接触。该生物传感器基于现有的CMOS结构实现,大幅提高生物传感器的良率,降低生产成本。
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