Invention Grant
- Patent Title: 缺陷检测装置
-
Application No.: CN201980040370.9Application Date: 2019-05-21
-
Publication No.: CN112313510BPublication Date: 2025-02-28
- Inventor: 畠堀贵秀 , 长田侑也 , 田窪健二
- Applicant: 株式会社岛津制作所
- Applicant Address: 日本京都府
- Assignee: 株式会社岛津制作所
- Current Assignee: 株式会社岛津制作所
- Current Assignee Address: 日本京都府
- Agency: 北京林达刘知识产权代理事务所
- Agent 刘新宇
- Priority: 2018-127257 20180704 JP
- International Application: PCT/JP2019/020086 2019.05.21
- International Announcement: WO2020/008745 JA 2020.01.09
- Date entered country: 2020-12-15
- Main IPC: G01N29/24
- IPC: G01N29/24 ; G01B11/30 ; G01J9/02 ; G01N21/88

Abstract:
缺陷检测装置(10)具备:激励源(11),其能够配置于被检查物体(S)的表面的任意的部位,在该被检查物体(S)内激励某一个振动模式处于优势且指向规定的方向前进的弹性波;照明部(脉冲激光源(13)、照明光透镜(14)),其使用激光源来对所述被检查物体的表面的照明区域进行频闪照明;位移测定部(散斑剪切干涉仪(15)),其通过散斑干涉法或者散斑剪切干涉法,来在所述弹性波的互不相同的至少3个相位下一并测定所述照明区域内的各点的前后方向的位移;以及反射波散射波检测部(16),其基于由所述位移测定部测定出的位移,来检测所述弹性波的反射波和散射波中的任一方或者两方。
Public/Granted literature
- CN112313510A 缺陷检测装置 Public/Granted day:2021-02-02
Information query