本发明公开了一种三氯氢硅气体湿法除尘器，包括旋风除尘装置、袋式除尘装置、湿法除尘装置、冷凝除水装置，所述旋风除尘装置的进气口连接三氯氢硅合成炉的排气口，所述旋风除尘装置的排气口与所述袋式除尘装置的进气口连接，所述袋式除尘装置的排气口与所述湿法除尘装置的进气口连接，所述湿法除尘装置的排气口与所述冷凝除水装置的进气口连接，所述冷凝除水装置的排气口为净化排气口。本发明通过初步旋风除尘、袋式过滤后再经过本发明带静电吸附功能的的湿法除尘装置进行高效过滤，且过滤后的气体经冷凝去除空气中的水分，从而对三氯氢硅反应炉反应过程中产生的有害含尘气体进行高效的过滤，避免了环境污染，具有推广应用的价值。