- 专利标题: 薄膜沉积旋转盘系统
-
申请号: CN202011160763.4申请日: 2020-10-27
-
公开(公告)号: CN112251735B公开(公告)日: 2024-11-15
- 发明人: 吴铭钦 , 刘峰
- 申请人: 苏州雨竹机电有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
- 专利权人: 苏州雨竹机电有限公司
- 当前专利权人: 苏州雨竹机电有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
- 代理机构: 北京市万慧达律师事务所 11111专利代理师刘艳丽
- 优先权: 109115618 2020.05.11 TW
- 主分类号: C23C16/458
- IPC分类号: C23C16/458 ; C23C14/50 ; C23C16/455
公开/授权文献
- CN112251735A 薄膜沉积旋转盘系统 公开/授权日:2021-01-22
IPC分类: