解像力测试方法、设备及存储介质
摘要:
本申请公开了一种光学成像系统的解像力测试方法、设备及存储介质。所述解像力测试方法包括:通过所述光学成像系统对包含多个圆形图案的标板进行拍摄以获取测试图像,所述测试图像包含与所述多个圆形图案对应的多个第一图案;基于所述多个第一图案中的待测第一图案的边界上的基点和所述待测第一图案的经过所述基点的法线确定边缘扩展路径;沿所述边缘扩展路径超采样提取所述测试图像的像素信息;以及基于所超采样提取的像素信息确定所述光学成像系统的MTF。
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