发明授权
- 专利标题： 基板承载装置
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申请号： CN202011167305.3申请日： 2020-10-27
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公开(公告)号： CN112195454B公开(公告)日： 2024-07-09
- 发明人: 吴铭钦 , 刘峰
- 申请人： 苏州雨竹机电有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
- 专利权人： 苏州雨竹机电有限公司
- 当前专利权人： 苏州雨竹机电有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧
- 代理机构： 北京高沃律师事务所
- 代理商 王富强
- 主分类号： C23C16/458
- IPC分类号： C23C16/458
摘要：
本发明所提供的基板承载装置，可运用于面下型(Face Down)反应腔，能使基板(晶圆)以反应面朝下的方式与反应气体进行接触，让粉尘因为重力关往下沉降而不容易附着于基板的反应面，以改善因粉尘飘散而造成的良率损失问题。其次，基板承载装置还能导入气浮气体，以使基板悬浮与旋转，让基板的受热效果更为均匀与精确，进而改善基板成膜效果更不均的问题。
公开/授权文献
- CN112195454A 基板承载装置 公开/授权日：2021-01-08
IPC分类:
