本发明公开了电子级二乙基铍的生产方法，包括以下步骤：原料准备，在保护气体环境下，按照反应配比，准备适量的格利雅试剂和氯化铍；原料混合，在保护气体环境下，格利雅试剂冷却至‑25℃到‑60℃，投入氯化铍，滴加完毕后，升温至‑60到‑5℃，搅拌反应1‑5h，再升温至10至20℃，继续搅拌2‑3h，制备得到二乙基铍混合物；一次蒸馏；在保护气体环境下，进行一次蒸馏，得到一次蒸馏液。二次蒸馏，在保护气体环境下，对一次蒸馏液进行二次蒸馏，得到二次蒸馏液；减压蒸馏，控制压强在20千帕，并在蒸馏釜上安装超声波换能器，控制超声波换能器工作，进行减压蒸馏，得到初成品。本发明有助于提升蒸馏效果，提升蒸馏效率，有助提升良品率，提升产品纯度。