- 专利标题: 一种硅兼容双极性异质结紫外-近红外双波段光电探测器及其制备方法
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申请号: CN202010931651.8申请日: 2020-09-08
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公开(公告)号: CN112002781B公开(公告)日: 2021-08-17
- 发明人: 于永强 , 徐艳 , 宋龙梅 , 夏宇 , 许高斌 , 马渊明 , 陈兴
- 申请人: 合肥工业大学
- 申请人地址: 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 专利权人: 合肥工业大学
- 当前专利权人: 合肥庐阳科技创新集团有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 代理机构: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
- 代理商 卢敏
- 主分类号: H01L31/101
- IPC分类号: H01L31/101 ; H01L31/109 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种硅兼容双极性异质结紫外‑近红外双波段光电探测器及其制备方法,该探测器的结构为:在单晶硅衬底的上、下表面皆设置有SiO2绝缘层;在各层SiO2绝缘层的中心皆形成一盲孔;在上层盲孔内沉积有二维2H‑MoSe2材料,在下层盲孔内沉积有二维1T‑WS2材料,两种材料与单晶硅衬底形成2H‑MoSe2/Si/1T‑WS2双极性异质结;上层二维2H‑MoSe2材料和下层二维1T‑WS2材料外表面分别设置有顶电极和底电极。本发明所制备的探测器具有在紫外和近红外双波段的窄带响应,且响应速度快、易集成。
公开/授权文献
- CN112002781A 一种硅兼容双极性异质结紫外-近红外双波段光电探测器及其制备方法 公开/授权日:2020-11-27
IPC分类: