发明公开
- 专利标题： 一种声振测量用压电换能单元结构
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申请号： CN202010836735.3申请日： 2020-08-19
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公开(公告)号： CN111952435A公开(公告)日： 2020-11-17
- 发明人: 耿进锋 , 孙晓光 , 赵寿生 , 姚德贵 , 聂京凯 , 王轲 , 张嵩阳 , 王磊磊 , 汲胜昌 , 肖伟民
- 申请人： 国网河南省电力公司电力科学研究院 , 全球能源互联网研究院有限公司 , 国家电网有限公司
- 申请人地址： 河南省郑州市二七区嵩山南路85号
- 专利权人： 国网河南省电力公司电力科学研究院,全球能源互联网研究院有限公司,国家电网有限公司
- 当前专利权人： 国网河南省电力公司电力科学研究院,全球能源互联网研究院有限公司,国家电网有限公司
- 当前专利权人地址： 河南省郑州市二七区嵩山南路85号
- 代理机构： 苏州知途知识产权代理事务所
- 代理商 张锦波
- 主分类号： H01L41/053
- IPC分类号： H01L41/053 ; H01L41/09 ; H01L41/113
摘要：
本申请涉及一种声振测量用压电换能单元结构，包括硅基片，位于所述硅基片上的支撑层，以及位于所述支撑层上的压电振膜，所述压电振膜包括下电极层、压电层和上电极层，所述压电层位于上电极层和下电极层之间，所述硅基片开设有阵列式的凹槽，所述凹槽与所述支撑层构成半封闭的空腔；所述支撑层上开设有缝隙，所述缝隙直通至硅基片，并与所述空腔相错开。本申请可以提高压电换能器的灵敏度，同时提升能量收集效率。
公开/授权文献
- CN111952435B 一种声振测量用压电换能单元结构 公开/授权日：2022-03-29
IPC分类:
