发明授权
CN111893453B 一种在尖锥形陶瓷腔体内壁制备微细金属涂层图案的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种在尖锥形陶瓷腔体内壁制备微细金属涂层图案的方法
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申请号: CN202010714625.X申请日: 2020-07-21
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公开(公告)号: CN111893453B公开(公告)日: 2021-10-22
- 发明人: 刘波 , 朱海红 , 金凡亚 , 但敏
- 申请人: 四川大学 , 华中科技大学 , 核工业西南物理研究院
- 申请人地址: 四川省成都市一环路南一段24号; ;
- 专利权人: 四川大学,华中科技大学,核工业西南物理研究院
- 当前专利权人: 四川大学,华中科技大学,核工业西南物理研究院
- 当前专利权人地址: 四川省成都市一环路南一段24号; ;
- 代理机构: 北京麦汇智云知识产权代理有限公司
- 代理商 廖斌
- 主分类号: C23C14/58
- IPC分类号: C23C14/58 ; C23C14/48 ; C23C14/35 ; C23C14/18 ; B23K26/362
摘要:
本发明提出了一种在尖锥形陶瓷腔体内壁制备微细金属涂层图案的方法,涉及超材料隐身技术领域。本发明提供的在尖锥形陶瓷腔体内壁制备金属涂层微细金属涂层图案的方法,包括如下步骤,激光从尖锥形陶瓷腔体外部穿透尖锥形陶瓷腔体,对尖锥形陶瓷腔体的内壁上的金属涂层进行激光反向刻蚀,通过选择性扫描在尖锥形陶瓷腔体内壁获得微细金属涂层图案,所述尖锥形陶瓷腔体的壁的厚度为3‑15mm。本发明的优点在于,突破传统方法的加工技术壁垒,首次提出利用激光反向刻蚀尖锥形陶瓷腔体内壁的金属涂层,解决了尖锥形陶瓷腔体内壁难构筑微细金属涂层图案的技术难题,便于进一步制备FSS超材料,为尖锥形陶瓷腔雷达罩隐身提供技术基础。
公开/授权文献
- CN111893453A 一种在尖锥形陶瓷腔体内壁制备微细金属涂层图案的方法 公开/授权日:2020-11-06
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