发明授权
- 专利标题： 柔性压力传感器及其制备方法、电子装置
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申请号： CN202010723154.9申请日： 2020-07-24
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公开(公告)号： CN111855029B公开(公告)日： 2022-10-04
- 发明人: 梁魁
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方技术开发有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方技术开发有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 代理机构： 北京律智知识产权代理有限公司
- 代理商 王辉; 阚梓瑄
- 主分类号： G01L1/14
- IPC分类号： G01L1/14 ; G01L1/22 ; G01L9/04 ; G01L9/12
摘要：
本发明提供一种柔性压力传感器及其制备方法、电子装置。柔性压力传感器包括相对设置的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极之间设置第一介电层和第二介电层，且第二介电层位于第一介电层和第二电极之间，第一介电层和第二介电层弹性模量不同；第一介电层和第二介电层中至少二者之一的内部具有镂空结构。该柔性压力传感器能够兼顾高灵敏度及大量程的优点。该柔性压力传感器可以通过一模板来制备介电层中的镂空结构，制备方法简单。
公开/授权文献
- CN111855029A 柔性压力传感器及其制备方法、电子装置 公开/授权日：2020-10-30
