一种柔性声表面波气体传感器及其制备方法
Abstract:
本发明涉及一种柔性声表面波气体传感器,属于传感器技术领域。本发明的柔性声表面波气体传感器,通过高压电系数的压电陶瓷与具有室温气敏特性的柔性介电气敏聚合物的复合,在机电耦合的过程中实现气体探测和信号换能输出的协同进行。通过压电陶瓷‑介电气敏聚合物复合材料的构筑,充分地发挥并融合两者的优势与特点,使得气体探测与压电换能同时同地进行,从而简化了器件结构,实现了气体探测与压电换能的结构与功能耦合。此外,由于气体反应将影响复合材料的声阻抗,复合材料的谐振频率也将随之变化,从而引起叉指换能器检测声表面波频率或者相位的变化,进而可以推算出外界气氛的浓度,实现了气体的高灵敏度及稳定探测。
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