化学镀钯液和钯镀膜
摘要:
本发明提供一种化学镀钯液,其至少使用肼作为还原剂,在酸性至中性附近的浴稳定性和长期稳定性优异,同时可以抑制伴随抗蚀剂溶出而引起的Pd镀膜的析出速度的降低。本发明的化学镀钯液含有:钯化合物;肼或其盐;以及选自由NH2NHCOR1式所示的式(1)的化合物或其盐、和(NH2NHCO)2(R2)n所示的式(2)的化合物或其盐组成的组中的至少一种;并且,所述化学镀钯液满足pH为8以下。(式中,R1为H、NH2、碳数1‑10的烷基、碳数1‑10的烷氧基、NHNH2或芳香族基团,且R1可具有取代基,R2为(CH2)或芳香族基团,且R2可具有取代基,n为0‑10的整数)。
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