一种易变形工件的找正装置及方法，属于精密超精密加工领域，包括圆跳动测量系统、微纳米执行系统、夹具系统以及控制系统，圆跳动测量系统包括测量仪底座、横向调节滑杆、连接座、限位螺母、纵向调节滑杆、圆跳动测量仪；微纳米执行系统包括微纳米执行装置、限位装置；夹具系统主要包括夹具、连接板。微纳米执行装置中的微纳米执行器通过底座安装在滑块上；夹具一端与工件相连，另一端与主轴法兰相连；控制系统与圆跳动测量仪、微纳米执行器连接。本发明主要是通过真空吸力装置进行夹紧，通过控制系统对圆跳动所测量的误差进行分析，控制微纳米执行器动作来调整夹具位置，进而调整工件相对于主轴的位置。本发明不直接与工件相接触即可调整工件回转中心位置，避免工件损伤，且测量精度高。