输入输出控制单元(120)具有存储器、输入输出控制部(126)、模拟信号输入接口(129)、脉冲信号输入接口(127A)。输入输出控制部(126)具有：脉冲信号输入模块(1411)，其生成触发信号；A/D转换模块(1431)，其通过对模拟信号进行模拟数字转换而生成晶片厚度信息；日志记录模块(1501)，其与触发信号同步地，将晶片厚度信息储存于存储器中的预先设定好的表格(A)；计数模块(1461)，其根据数字信号持续地生成表示计数值的计数值信息而输出；以及日志记录模块(1502)，其与触发信号同步地，将计数值信息与晶片厚度信息相关联地储存于存储器(124)中的表格(TB)。