发明授权
- 专利标题: 高抗振性电子散斑干涉测量系统和方法
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申请号: CN202010415412.7申请日: 2020-05-15
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公开(公告)号: CN111578844B公开(公告)日: 2021-10-19
- 发明人: 刘斌 , 王虎 , 邢瑞英 , 孙晓飞 , 王业腾 , 王文博 , 占明明 , 刘轩 , 鲁国林 , 孙霖
- 申请人: 上海工程技术大学 , 湖北航天化学技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区仙霞路350号;
- 专利权人: 上海工程技术大学,湖北航天化学技术研究所
- 当前专利权人: 上海工程技术大学,湖北航天化学技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区仙霞路350号;
- 代理机构: 北京云嘉湃富知识产权代理有限公司
- 代理商 程凌军
- 主分类号: G01B11/02
- IPC分类号: G01B11/02
摘要:
提供一种高抗振性电子散斑干涉测量系统,其包括:迈克尔逊干涉仪,其包括相移镜和高速相机;压电陶瓷,用于前后移动所述相移镜;驱动器,用于驱动所述压电陶瓷;控制器,分别与所述驱动器和高速相机连接,用于发出同步的第一信号和第二信号,所述第一信号用于控制所述高速相机采图,所述第二信号为正弦电压信号且用于驱动所述压电陶瓷;其中,所述高速相机以周期t在所述正弦电压信号上升段的中间4t时间内等时间间隔采集A、B、C和D四个时刻的四幅散斑干涉图像获得对应的光强分布IA、IB、IC、ID,在所述4t时间内所述相移镜的位移为3λ/8,λ为干涉光的波长;以及处理器,用于基于所述四幅散斑干涉图像计算被测物体离面位移和/或离面位移导数。
公开/授权文献
- CN111578844A 高抗振性电子散斑干涉测量系统和方法 公开/授权日:2020-08-25