主动隔振装置(A)包括：对承载物(S)进行定位的工作台(4)、支撑工作台(4)的隔振台(1)、对隔振台(1)施加抑制其振动的控制力的伺服阀(24)、事先获取基于与工作台(4)的移动控制相关的信息的工作台状态信号的工作台信息获取部(6d)、从该工作台状态信号中除去共振频率成分的共振抑制部(6f)、以及根据共振频率成分已被除去之后的工作台状态信号对伺服阀(24)进行前馈控制而让控制力与伴随着工作台(4)移动而引起的隔振台(1)的振动相匹配的制振FF控制部(6e)。