Invention Grant
- Patent Title: 研磨具支架以及研磨工具
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Application No.: CN201880086153.9Application Date: 2018-06-14
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Publication No.: CN111565891BPublication Date: 2022-05-13
- Inventor: 福岛启辅 , 佐藤洋一
- Applicant: 千贝克科技有限公司 , 大明化学工业株式会社
- Applicant Address: 日本东京;
- Assignee: 千贝克科技有限公司,大明化学工业株式会社
- Current Assignee: 千贝克科技有限公司,大明化学工业株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京;
- Priority: PCT/JP2018/000340 20180110 JP
- International Application: PCT/JP2018/022754 2018.06.14
- International Announcement: WO2019/138595 JA 2019.07.18
- Date entered country: 2020-07-10
- Main IPC: B24B49/16
- IPC: B24B49/16 ; B24B29/00 ; B24D13/14

Abstract:
研磨工具(1)具有:研磨刷(3);以及保持研磨刷(3)的研磨刷支架(4)。研磨刷支架(4)具备:柄(6);具备套筒(7)且将研磨刷(3)支承成能在柄(6)的轴线L方向上移动的支承机构(21);以及使研磨刷(3)在轴线L方向上移动的移动机构(22)。此外,研磨刷支架(4)具有:在通过由支承机构(21)支承的研磨刷(3)研磨工件(W)时,对从该工件(W)侧施加于上述研磨刷(3)的负载(传感器检测压力(P))进行检测的压力传感器(53);以及根据来自压力传感器(53)的输出(传感器检测压力(P))驱动移动机构(22)而使研磨刷(3)在轴线L方向上移动的控制部(51)。
Public/Granted literature
- CN111565891A 研磨具支架以及研磨工具 Public/Granted day:2020-08-21
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