发明授权
- 专利标题: 一种多波长激光器的制备方法
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申请号: CN201910062037.X申请日: 2019-01-23
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公开(公告)号: CN111478181B公开(公告)日: 2021-03-12
- 发明人: 李志虎 , 朱振 , 张新 , 郑兆河 , 徐现刚
- 申请人: 潍坊华光光电子有限公司
- 申请人地址: 山东省潍坊市高新区新城街道玉清社区金马路9号管芯净化厂房
- 专利权人: 潍坊华光光电子有限公司
- 当前专利权人: 潍坊华光光电子有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省潍坊市高新区新城街道玉清社区金马路9号管芯净化厂房
- 主分类号: H01S5/343
- IPC分类号: H01S5/343
摘要:
一种多波长激光器的制备方法,在一次生长过程中制备出复合波长多量子阱结构,因此不需要对单一波长的多量子阱发光结构或器件进行键合,即可产生复合波长的光输出,因此不存在键合金属层对光的反射,可消除因结构引起的光效率降低,在LD器件的应用中提高了发光效率。由于AlGaAs或AlGaInP材料的晶格与GaAs衬底材料的晶格常数相匹配,因此无应力波导层生长后无应力,其会抵消生长AlGaInAs第一量子阱发光区时产生的应力,同时也会抵消在其之上继续生长GaAsP第二量子阱发光区时产生的应力。无应力的AlGaInAs第一量子阱和GaAsP第二量子阱的晶体质量会更好,其发光的波长更加可控。电子与空穴复合机率变大,提高发光效率。
公开/授权文献
- CN111478181A 一种多波长激光器的制备方法 公开/授权日:2020-07-31