发明授权
- 专利标题： 保护膜形成用复合片及其制造方法
-
申请号： CN201880079841.2申请日： 2018-03-30
-
公开(公告)号： CN111466014B公开(公告)日： 2024-01-02
- 发明人: 佐伯尚哉 , 古野健太
- 申请人： 琳得科株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 琳得科株式会社
- 当前专利权人： 琳得科株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 张晶; 谢顺星
- 国际申请： PCT/JP2018/013624 2018.03.30
- 国际公布： WO2019/187010 JA 2019.10.03
- 进入国家日期： 2020-06-10
- 主分类号： H01L21/301
- IPC分类号： H01L21/301 ; H01L23/00
摘要：
本发明涉及一种保护膜形成用复合片，其具有具备基材且在所述基材上具备粘着剂层的支撑片，并在所述支撑片中的粘着剂层上具有保护膜形成用膜，所述基材的所述粘着剂层侧的面为凹凸面，从所述保护膜形成用复合片的5处裁切试验片，并分别对这5片试验片的所述保护膜形成用膜与所述支撑片的非贴合区域的层间距离进行测定时，所述层间距离为0.5μm以下。
公开/授权文献
- CN111466014A 保护膜形成用复合片及其制造方法 公开/授权日：2020-07-28
IPC分类:
