发明授权
- 专利标题: 铝钪合金靶材及其制备方法
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申请号: CN201910728796.5申请日: 2019-08-08
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公开(公告)号: CN111455223B公开(公告)日: 2021-10-01
- 发明人: 黄培 , 黄美松 , 王志坚 , 刘华 , 邓月华 , 马小波 , 文康 , 刘维
- 申请人: 湖南稀土金属材料研究院
- 申请人地址: 湖南省长沙市芙蓉区隆平高科技园隆园二路108号
- 专利权人: 湖南稀土金属材料研究院
- 当前专利权人: 湖南稀土金属材料研究院
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市芙蓉区隆平高科技园隆园二路108号
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 曹素云; 陈英俊
- 主分类号: C22C21/00
- IPC分类号: C22C21/00 ; C22C1/02 ; C22F1/04 ; C22F1/02 ; C23C14/34
摘要:
本发明公开了一种铝钪合金靶材及其制备方法。其中制备方法包括:选取纯度在99.99%以上的金属铝和金属钪;按金属钪的质量百分比含量为5%~40%,金属铝的质量百分比含量为60%~95%配料,将所述金属铝分多次对掺到所述金属钪中,反复熔炼,得到预期的铝钪合金;将所述铝钪合金浇铸到模具中,得到铝钪合金靶坯;将所述铝钪合金靶坯进行机加工得到所述铝钪合金靶材。采用本发明可以解决现有技术中靶材成分的均匀化难以实现,钪分布不均匀,靶材氧含量高,致密度低,合金纯度低,无法用来制备溅射镀膜的问题。
公开/授权文献
- CN111455223A 铝钪合金靶材及其制备方法 公开/授权日:2020-07-28