铝钪合金靶材及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种铝钪合金靶材及其制备方法。其中制备方法包括:选取纯度在99.99%以上的金属铝和金属钪;按金属钪的质量百分比含量为5%~40%,金属铝的质量百分比含量为60%~95%配料,将所述金属铝分多次对掺到所述金属钪中,反复熔炼,得到预期的铝钪合金;将所述铝钪合金浇铸到模具中,得到铝钪合金靶坯;将所述铝钪合金靶坯进行机加工得到所述铝钪合金靶材。采用本发明可以解决现有技术中靶材成分的均匀化难以实现,钪分布不均匀,靶材氧含量高,致密度低,合金纯度低,无法用来制备溅射镀膜的问题。
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