电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法
摘要:
电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法。一种电镀设备,包括镀槽和在镀槽中沿水平方向并配置成支撑基板的台架。电镀设备还包括在基板的两侧的多个阴极和在基板上的阳极,阳极与基板间隔开并且被配置为可在第一方向上移动。
公开/授权文献
0/0