发明授权
- 专利标题: 电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法
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申请号: CN201910900624.1申请日: 2019-09-23
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公开(公告)号: CN111378997B公开(公告)日: 2023-04-28
- 发明人: 金高泰 , 金祐赞 , 崔畅埈 , 文相喆 , 金顼
- 申请人: 乐金显示有限公司
- 申请人地址: 韩国首尔
- 专利权人: 乐金显示有限公司
- 当前专利权人: 乐金显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国首尔
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 刘久亮; 黄纶伟
- 主分类号: C25D5/04
- IPC分类号: C25D5/04 ; C25D17/10 ; C25D5/08 ; C25D5/02 ; C25D17/06
摘要:
电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法。一种电镀设备,包括镀槽和在镀槽中沿水平方向并配置成支撑基板的台架。电镀设备还包括在基板的两侧的多个阴极和在基板上的阳极,阳极与基板间隔开并且被配置为可在第一方向上移动。
公开/授权文献
- CN111378997A 电镀设备和使用该电镀设备的电镀方法 公开/授权日:2020-07-07