- 专利标题: 具有多梁檐空隙的体声波谐振器、滤波器和电子设备
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申请号: CN201811560326.4申请日: 2018-12-20
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公开(公告)号: CN111355466B公开(公告)日: 2024-09-17
- 发明人: 杨清瑞 , 庞慰 , 张孟伦
- 申请人: 天津大学 , 诺思(天津)微系统有限责任公司
- 申请人地址: 天津市南开区卫津路92号;
- 专利权人: 天津大学,诺思(天津)微系统有限责任公司
- 当前专利权人: 天津大学,诺思(天津)微系统有限责任公司
- 当前专利权人地址: 天津市南开区卫津路92号;
- 代理机构: 北京金诚同达律师事务所
- 代理商 汤雄军
- 主分类号: H03H9/17
- IPC分类号: H03H9/17 ; H03H9/54
摘要:
具有多梁檐空隙的体声波谐振器、滤波器和电子设备。本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极,设置在基底上方;顶电极;和压电层,设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间,其中:所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域;所述有效区域的边缘的至少一部分设置有抑制结构,所述抑制结构具有至少两层在厚度方向上间隔开的空隙。所述抑制结构包括至少两个檐结构,所述至少两个檐结构在所述厚度方向上间隔开。所述抑制结构也可包括至少两个梁结构,所述至少两个梁结构在厚度方向上间隔开。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器,以及具有该滤波器或者谐振器的电子设备。
公开/授权文献
- CN111355466A 具有多梁檐空隙的体声波谐振器、滤波器和电子设备 公开/授权日:2020-06-30
IPC分类: