可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯
摘要:
本发明为一种可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯,有灯管(1),在灯管(1)内设有筒状空心阴极(2)、环形阳极(3)及惰性气体(4),环形阳极(3)的内径大于筒状空心阴极(2),灯管(1)内部有至少20mT的恒定磁场(5),所述恒定磁场(5)N极与S极的垂直连线与筒状空心阴极(2)的轴线平行。通过恒定磁场控制电子以近似螺旋形轨迹飞向阳极,显著增大了电子在两极间的飞行距离,增加了与气体分子发生碰撞的几率,可产生更多的正离子轰击阴极表面,提高了空心阴极灯溅射率,增强空心阴极灯发射谱线强度,从而提高了检测灵敏度。
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