发明授权
- 专利标题: 可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯
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申请号: CN202010160324.7申请日: 2020-03-10
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公开(公告)号: CN111293032B公开(公告)日: 2022-12-30
- 发明人: 张硕 , 姚子伟
- 申请人: 国家海洋环境监测中心
- 申请人地址: 辽宁省大连市沙河口区凌河街42号
- 专利权人: 国家海洋环境监测中心
- 当前专利权人: 国家海洋环境监测中心
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市沙河口区凌河街42号
- 代理机构: 大连非凡专利事务所
- 代理商 闪红霞
- 主分类号: H01J61/067
- IPC分类号: H01J61/067 ; H01J61/09 ; H01J61/16
摘要:
本发明为一种可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯,有灯管(1),在灯管(1)内设有筒状空心阴极(2)、环形阳极(3)及惰性气体(4),环形阳极(3)的内径大于筒状空心阴极(2),灯管(1)内部有至少20mT的恒定磁场(5),所述恒定磁场(5)N极与S极的垂直连线与筒状空心阴极(2)的轴线平行。通过恒定磁场控制电子以近似螺旋形轨迹飞向阳极,显著增大了电子在两极间的飞行距离,增加了与气体分子发生碰撞的几率,可产生更多的正离子轰击阴极表面,提高了空心阴极灯溅射率,增强空心阴极灯发射谱线强度,从而提高了检测灵敏度。
公开/授权文献
- CN111293032A 可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯 公开/授权日:2020-06-16