发明授权
- 专利标题: 一种带有微隔腔的半导体封装结构
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申请号: CN201911036792.7申请日: 2019-10-29
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公开(公告)号: CN111199926B公开(公告)日: 2021-08-17
- 发明人: 徐志伟 , 高会言 , 厉敏 , 李娜雨 , 张梓江 , 王绍刚 , 宋春毅
- 申请人: 浙江大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 专利权人: 浙江大学
- 当前专利权人: 浙江集速合芯科技有限公司
- 当前专利权人地址: 316000 浙江省舟山市定海区临城街道百川道11号202室(集中办公)
- 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
- 代理商 贾玉霞
- 主分类号: H01L23/31
- IPC分类号: H01L23/31 ; H01L23/367 ; H01L23/522 ; H01L23/552
摘要:
本发明公开一种带有微隔腔的半导体封装结构,包括多通道或多模块的半导体芯片、导热基板、固定填充物、金属焊球、金属布线层、介质层、过孔。导热基板上有略大于芯片的凹槽,芯片以倒片摆放的方式放入凹槽并与导热基板粘接,芯片焊盘通过金属焊球与下方层压电路板连接。层压电路板有多层金属布线层,金属布线层由介质层隔开,不同金属布线层之间使用过孔互连。芯片按照通道或模块划分成不同的区域,每个区域的周围边界上紧密排布金属焊球,由芯片、金属焊球和层压电路板形成有效降低通道间或模块间电磁耦合的微隔腔结构。本发明减小封装的体积,降低信号在互连线上的传输损耗,有效提高芯片通道或模块间的隔离度,提升了系统的性能。
公开/授权文献
- CN111199926A 一种带有微隔腔的半导体封装结构 公开/授权日:2020-05-26
IPC分类: