本发明涉及一种六氟化硫气体净化系统，该净化系统包括：碱洗单元，其中填充有碱性介质，当通入六氟化硫气体时用于去除气体的酸性成分；干燥单元，其中填充有干燥介质，当通入六氟化硫气体时用于去除气体的水分；碱洗单元与干燥单元串接，干燥单元的前端与碱洗单元的后端相通；碱洗单元的进口连接有用于与气体绝缘电器设备连接的进气管路，干燥单元的出口连接有用于与抽气设备连接的出气管路。洗单元中的碱性介质能够与六氟化硫气体中的酸性成分发生酸碱中和反应，干燥单元位于碱洗单元的下游，能够吸收六氟化硫气体内因中和反应和/或自身所含的水分，使六氟化硫气体通过碱洗单元与干燥单元的净化，得到干燥的、纯净的六氟化硫气体。