本发明公开了一种过氧化氢低温等离子灭菌抗力仪及其抗力测试方法，具有预真空舱和检测室，其中预真空舱至少是检测室容积的50倍，预真空舱和检测室加载各类管路和相应的阀，使过氧化氢现在预真空舱均匀扩散，再通入检测室进行抗力测试。通过大小舱的设计，使得测试开始时过氧化氢能够在检测室迅速扩散，测试结束时迅速被抽出，且具有稳定的通入浓度，优化了被测物暴露效果，使实际暴露时长与理论暴露时长更加接近，提高了测试的准确性，同时迅速消除残留过氧化氢能够减少对人员的伤害。另外在抗力测试功能的同时，还能够提供灭菌效果测试以及灭菌功能供用户选择，使得产品功能多样化。