一种半导体集成电路器件
摘要:
本发明公开了一种半导体集成电路器件及其制造方法。其中,半导体集成电路器件包括:基板;在基板之上,并列有动态随机存取存储器(DRAM)单元和电阻式随机存取存储器(RRAM)单元;其中,DRAM单元和RRAM单元相互隔离,且DRAM单元的电容器与RRAM单元的可变电阻结构均采用金属‑绝缘体‑金属(MIM)结构,可使用相同的工艺和材料制备。如此,可将DRAM单元与RRAM单元以较为简易的生产工艺制备在同一块芯片上,既能减少数据传输损耗,还能节约空间,满足微缩化需求,从而大大提高了产品的性价比。
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