发明授权
- 专利标题: 一种半导体集成电路器件
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申请号: CN201911407524.1申请日: 2019-12-31
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公开(公告)号: CN111081707B公开(公告)日: 2021-04-16
- 发明人: 沈鼎瀛
- 申请人: 厦门半导体工业技术研发有限公司
- 申请人地址: 福建省厦门市软件园三期诚毅北大街62号109单元0206号
- 专利权人: 厦门半导体工业技术研发有限公司
- 当前专利权人: 厦门半导体工业技术研发有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市软件园三期诚毅北大街62号109单元0206号
- 代理机构: 北京乐知新创知识产权代理事务所
- 代理商 江宇
- 主分类号: H01L27/108
- IPC分类号: H01L27/108 ; H01L27/24 ; H01L45/00 ; H01L21/8242
摘要:
本发明公开了一种半导体集成电路器件及其制造方法。其中,半导体集成电路器件包括:基板;在基板之上,并列有动态随机存取存储器(DRAM)单元和电阻式随机存取存储器(RRAM)单元;其中,DRAM单元和RRAM单元相互隔离,且DRAM单元的电容器与RRAM单元的可变电阻结构均采用金属‑绝缘体‑金属(MIM)结构,可使用相同的工艺和材料制备。如此,可将DRAM单元与RRAM单元以较为简易的生产工艺制备在同一块芯片上,既能减少数据传输损耗,还能节约空间,满足微缩化需求,从而大大提高了产品的性价比。
公开/授权文献
- CN111081707A 一种半导体集成电路器件 公开/授权日:2020-04-28
IPC分类: