本发明提供了一种分布式InSAR卫星测高精度影响因素分析方法，包括：步骤1：建立分布式InSAR卫星目标定位方程，确定影响系统定位精度的误差源；步骤2：根据误差源推导InSAR卫星对目标定位的误差传递函数：步骤3：设定卫星参数：步骤4：根据设定的卫星参数和误差源对InSAR卫星目标定位的误差传递函数，计算误差源对InSAR卫星测高精度的影响程度：步骤5：进行固化计算，对卫星参数的变化进行响应；所述误差源包括：主星定位误差、主星测速误差、斜距测量误差、基线测量误差和干涉相位误差。本发明基于严格的理论模型进行计算并固化计算流程，与现有技术相比误差项目梳理更加全面，在卫星系统参数发生变化时可作出更快响应。