本发明的课题在于，校正卡盘的轴线和工件的芯,使其高精度地匹配。本发明提供一种具备校正工序的卡盘的校正方法,其中,所述卡盘具备主体、柱塞、以及夹爪,所述主体具有背面主体、配置在该背面主体的前侧的前面主体所述柱塞设置在该主体内,且构成为所述主体的轴线上移动,所述夹爪构成为通过所述柱塞的移动而被引导在所述前面主体上移动,其移动方向是朝向以所述轴线为中心而成的径方向,在所述校正工序中,当使工件被把持在所述夹爪上时,在相对于所述轴线维持所述背面主体的位置的同时,使所述前面主体在以所述轴线为中心的径方向移动,或者,相对于所述轴线维持所述背面主体的位置的同时,使所述前面主体相对于所述轴线倾斜。