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偏振无关的分束器
Abstract:
本发明公开了一种偏振无关的分束器,包括基片,基片上具有多个高折射率膜层、中折射率膜层和低折射率膜层交替堆叠而成的膜系,所述高折射率膜层的材料为SiH、SiOxHy或SiH与SiOxHy的混合物,本发明方案可以应用于干涉仪,成像仪器,检测仪器,数据中心,光通讯的梳状滤波器(Interleaver)等领域,其中,有至少与800nm至4000nm波长范围部分重叠的通带,每个SiH/SiOxHy层在800nm至4000nm波长范围内折射率均大于3,在800nm至4000nm波长范围内的消光系数均小于0.0005,整个膜系在800nm至4000nm波长范围内部分重叠,实现低吸收,实现大角度下各种分光比的偏振无关的分束器。
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