发明公开
- 专利标题: 光学元件及其制造方法
- 专利标题(英): Optical elements and method for fabricating the same
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申请号: CN201910476906.3申请日: 2019-06-03
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公开(公告)号: CN110703383A公开(公告)日: 2020-01-17
- 发明人: 郑圣传 , 陈皇任 , 林绮涵 , 吴翰林
- 申请人: 采钰科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市
- 专利权人: 采钰科技股份有限公司
- 当前专利权人: 采钰科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市
- 代理机构: 隆天知识产权代理有限公司
- 代理商 李琛; 黄艳
- 优先权: 16/031,277 2018.07.10 US
- 主分类号: G02B6/136
- IPC分类号: G02B6/136 ; G02B6/122
摘要:
本发明提供一种光学元件的制造方法。该制造方法包括下列步骤:提供一基板;形成复数个金属栅于该基板上;形成一第一有机层于该基板上,位于该等金属栅之间;形成一第二有机层于该第一有机层与该等金属栅上;以及蚀刻该第二有机层与该第一有机层,以留下该等金属栅以及位于该等金属栅上的复数个图案化第二有机层。本发明亦提供一种通过该方法所制作的光学元件。
公开/授权文献
- CN110703383B 光学元件及其制造方法 公开/授权日:2021-03-02