本发明公开了一种高精密定位平台的减振方法，包括实时检测定位平台和目标位置点之间的相对距离；当相对距离在预设距离范围内时，控制调节减振物体向定位平台运动方向相反的方向运动，直到定位平台在目标位置点周围的振幅小于预设振幅；其中，定位平台和减振物体之间通过弹性部件连接，且定位平台的质量大于减振物体的质量。本发明的减振方法通过减振物体对定位平台产生阻力，缩短定位平台来回振动所持续的时长，在一定程度上避免定位平台的振动对高速高精度定位产生的干扰和影响，有利于高速该进度定位设备的广泛应用。本发明中还提供了一种高精密定位平台的减振装置及设备，具有上述有益效果。