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真空干燥设备及监控装置
Abstract:
本公开提供一种真空干燥设备及监控装置,涉及成膜工艺技术领域。本公开的监控装置用于对一打印层进行监测,包括监控探头、控制组件和驱动机构。监控探头与打印层正对设置,且包括光路系统、光源和感应组件,光源设有朝向光路系统的出光孔,感应组件设有朝向光路系统的入光孔,光路系统用于在光路系统靠近打印层的一侧形成出光孔的共轭图像,且入光孔与共轭图像共轭;感应组件用于根据进入入光孔的光线输出感应信号。控制组件用于输出控制信号,直至感应信号的强度达到阈值时停止。驱动机构与监控探头连接,用于响应控制信号驱动监控探头向打印层移动。本公开监控装置可对打印层的液面变化进行监控,为调整真空干燥设备提供数据。
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