Invention Publication
CN110632073A 真空干燥设备及监控装置
无效 - 驳回
- Patent Title: 真空干燥设备及监控装置
- Patent Title (English): Vacuum drying equipment and monitoring device
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Application No.: CN201910912569.8Application Date: 2019-09-25
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Publication No.: CN110632073APublication Date: 2019-12-31
- Inventor: 叶志杰 , 黄文同 , 王欣欣 , 彭锐 , 贾文斌
- Applicant: 合肥京东方卓印科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- Applicant Address: 安徽省合肥市新站区新站工业物流园内A组团E区宿舍楼15幢
- Assignee: 合肥京东方卓印科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- Current Assignee: 合肥京东方卓印科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- Current Assignee Address: 安徽省合肥市新站区新站工业物流园内A组团E区宿舍楼15幢
- Agency: 北京律智知识产权代理有限公司
- Agent 王辉; 阚梓瑄
- Main IPC: G01N21/84
- IPC: G01N21/84 ; B41J11/00 ; G01F23/00

Abstract:
本公开提供一种真空干燥设备及监控装置,涉及成膜工艺技术领域。本公开的监控装置用于对一打印层进行监测,包括监控探头、控制组件和驱动机构。监控探头与打印层正对设置,且包括光路系统、光源和感应组件,光源设有朝向光路系统的出光孔,感应组件设有朝向光路系统的入光孔,光路系统用于在光路系统靠近打印层的一侧形成出光孔的共轭图像,且入光孔与共轭图像共轭;感应组件用于根据进入入光孔的光线输出感应信号。控制组件用于输出控制信号,直至感应信号的强度达到阈值时停止。驱动机构与监控探头连接,用于响应控制信号驱动监控探头向打印层移动。本公开监控装置可对打印层的液面变化进行监控,为调整真空干燥设备提供数据。
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