本发明涉及一种自带定位基面的组合式太赫兹金属矩形波导制造方法，属于太赫兹微器件精密制造领域。其特征在于：制造太赫兹金属矩形波导的含有定位基面的“一”型上覆盖板；制造太赫兹金属矩形波导的含有“凹”型波导腔体的波导主体；将含有定位基面的“一”型上覆盖板和含有“凹”型波导腔体的波导主体组合，制造自带定位基面的组合式太赫兹金属矩形波导。本发明在实现组合式太赫兹金属镀层空芯矩形波导精密、高效制造的基础上，可以解决其与法兰组装时定位困难的问题，具有重要意义。