一种微型形状记忆合金双丝流量控制阀
摘要:
本发明公开了一种微型形状记忆合金双丝流量控制阀,利用形状记忆合金材料应变感知和驱动一体化特征,直接将压差参数与形状记忆合金微丝驱动电流参数关联,即时将压差参数反馈,并驱动阀芯运动调整流道,起到流量控制的作用。本发明相比传统流量控制阀,结构简单,体积和构件复杂程度大幅度降低,尤其适合应用于毫米至微米尺度的微型流道中的流量控制。本发明微型流量控制阀的整体精度达到93%以上,相应频率高,这一技术有望在精密制造、生物医疗等领域获得推广应用。
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