超声波指纹识别传感器及其制备方法、显示装置
摘要:
本发明实施例提供一种超声波指纹识别传感器及其制备方法、显示装置,该超声波指纹识别传感器包括接收电极、驱动电极以及设置于所述接收电极与所述驱动电极之间的压电薄膜层,还包括谐振空腔,所述谐振空腔位于所述接收电极靠近所述压电薄膜层的一侧,用于增大所述压电薄膜层的振动幅度,以提升超声波指纹识别传感器的检测灵敏度。
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