本发明公开了一种光学玻璃磨粒加工亚表面裂纹损伤分布特征检测方法，采用表层抛光技术，可以更快速有效的去除试样磨粒加工后的表面材料，使隐藏在亚表面下较大深度的裂纹充分暴露出来，便于对大面积裂纹形貌的观察以及分布特征的检测，提高了检测效率；采用氢氟酸化学蚀刻技术，根据腐蚀深度与裂纹扩展后的宽度之间的关系，判断裂纹特定方向上是否成等速腐蚀，可反推出化学蚀刻前裂纹沿着垂直于试样亚表面向下的真实深度，进而可以准确的得到试样总亚表面裂纹深度。本发明通过结合表层抛光技术和化学蚀刻技术，实现了光学玻璃磨粒加工后亚表面大面积较深裂纹分布特征的快速、高效、准确检测。