发明授权
- 专利标题: 检验容器以及电子显微镜
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申请号: CN201810155155.0申请日: 2018-02-23
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公开(公告)号: CN110186944B公开(公告)日: 2021-11-09
- 发明人: 黄祖纬 , 吴佳凌 , 刘铈谊 , 张茂展
- 申请人: 台湾电镜仪器股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市
- 专利权人: 台湾电镜仪器股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾电镜仪器股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 贾磊; 王涛
- 主分类号: G01N23/2251
- IPC分类号: G01N23/2251 ; G01N23/2252
摘要:
一种检验容器包含一主体、一盖体以及一载台。主体具有一容置槽以容置样品。盖体可拆卸地与主体连接以封闭容置槽。盖体具有一第一通孔,其贯穿盖体的一外侧表面以及一内侧表面,且包含一薄膜,其设置于盖体的内侧表面。薄膜具有与第一通孔相对的一第二通孔,以供一带电粒子束通过第一通孔以及第二通孔。载台的设置位置对应于第二通孔,且可拆卸地设置于容置槽内,以适用多种检验用途。同时亦揭露一种使用上述检验容器的电子显微镜。
公开/授权文献
- CN110186944A 检验容器以及电子显微镜 公开/授权日:2019-08-30