一种基于高空穴迁移率GaSb纳米线的高性能红外探测器及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种基于高空穴迁移率GaSb纳米线的高性能红外探测器及其制备方法,采用双温区气相法、选择金属锡作为催化剂和轻掺杂源,实现了高空穴迁移率GaSb纳米线的可控生长,其场效应空穴迁移率超过1000cm2V‑1s‑1。采用微纳加工技术制备的高性能GaSb纳米线红外探测器件包括Si/SiO2衬底、单根GaSb纳米线及金属电极。器件具有优良的光电特性,对1550纳米的红外光展现了104安/瓦的高响应度,及143.4微秒和237.0微秒的超快响应时间,工艺可控性强,操作简单,成本低廉。
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