- 专利标题: 一种基于高空穴迁移率GaSb纳米线的高性能红外探测器及其制备方法
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申请号: CN201910484656.8申请日: 2019-06-05
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公开(公告)号: CN110164997B公开(公告)日: 2020-09-29
- 发明人: 杨再兴 , 孙嘉敏 , 韩明明
- 申请人: 山东大学
- 申请人地址: 山东省济南市历城区山大南路27号
- 专利权人: 山东大学
- 当前专利权人: 山东大学
- 当前专利权人地址: 山东省济南市历城区山大南路27号
- 代理机构: 济南金迪知识产权代理有限公司
- 代理商 杨磊
- 主分类号: H01L31/0304
- IPC分类号: H01L31/0304 ; H01L31/112 ; H01L31/18 ; B82Y30/00
摘要:
本发明涉及一种基于高空穴迁移率GaSb纳米线的高性能红外探测器及其制备方法,采用双温区气相法、选择金属锡作为催化剂和轻掺杂源,实现了高空穴迁移率GaSb纳米线的可控生长,其场效应空穴迁移率超过1000cm2V‑1s‑1。采用微纳加工技术制备的高性能GaSb纳米线红外探测器件包括Si/SiO2衬底、单根GaSb纳米线及金属电极。器件具有优良的光电特性,对1550纳米的红外光展现了104安/瓦的高响应度,及143.4微秒和237.0微秒的超快响应时间,工艺可控性强,操作简单,成本低廉。
公开/授权文献
- CN110164997A 一种基于高空穴迁移率GaSb纳米线的高性能红外探测器及其制备方法 公开/授权日:2019-08-23
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