发明授权
- 专利标题： 一种非极性ALGAN基肖特基紫外探测器
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申请号： CN201910411172.0申请日： 2019-05-17
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公开(公告)号： CN110164996B公开(公告)日： 2021-03-09
- 发明人: 张雄 , 饶立锋 , 崔一平
- 申请人： 东南大学
- 申请人地址： 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
- 专利权人： 东南大学
- 当前专利权人： 东南大学
- 当前专利权人地址： 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
- 代理机构： 南京众联专利代理有限公司
- 代理商 李雪萍
- 主分类号： H01L31/0304
- IPC分类号： H01L31/0304 ; H01L31/108
摘要：
本发明提供一种非极性AlGaN基肖特基紫外探测器，由下至上依次设置衬底、低温AlN成核层、高温AlN缓冲层、AlN/AlxGa1‑xN超晶格结构、n型掺杂n‑AlyGa1‑yN层、n型掺杂n‑AlzGa1‑zN吸收层、AlN势垒增强层、金属薄膜层，在n‑AlyGa1‑yN层引出欧姆电极，其中0
公开/授权文献
- CN110164996A 一种非极性ALGAN基肖特基紫外探测器 公开/授权日：2019-08-23
IPC分类:
