本发明提供一种蒸镀装置及蒸镀装置的使用方法，该蒸镀装置包括：蒸发源以及至少两组加热组件，每组加热组件包括第一加热件和第二加热件，第一加热件和第二加热件用于围设成容纳腔，蒸发源设置在容纳腔内；至少两组加热组件分别沿不同方向可移动地设置，以使至少两组加热组件可替换地合围于蒸发源周侧。当一组加热组件发生故障时，使发生故障的加热组件的第一加热件和第二加热件彼此分离，之后将另一组加热组件中的第一加热件和第二加热件围设在蒸发源的周围，以继续对蒸发源加热，不会终止对蒸发源的加热，进而保证生产进程。