发明公开
- 专利标题: 基于石墨烯纳晶碳膜电极的微型超级电容器的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing micro supercapacitor based on graphene nanocrystalline carbon film electrode
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申请号: CN201910468526.5申请日: 2019-05-31
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公开(公告)号: CN110136996A公开(公告)日: 2019-08-16
- 发明人: 郭美玲 , 王成 , 李言 , 杨明顺 , 王权岱 , 李鹏阳 , 杨振朝
- 申请人: 西安理工大学
- 申请人地址: 陕西省西安市碑林区金花南路5号
- 专利权人: 西安理工大学
- 当前专利权人: 西安理工大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市碑林区金花南路5号
- 代理机构: 西安弘理专利事务所
- 代理商 涂秀清
- 主分类号: H01G11/84
- IPC分类号: H01G11/84 ; H01G11/86 ; H01G11/26 ; H01G11/36
摘要:
本发明公开了一种基于石墨烯纳晶碳膜电极的微型超级电容器的制造方法,具体包括以下步骤:步骤1、将表层带有SiO2的Si基体超声清洗,之后利用磁控溅射设备在基体表面溅射沉积Au薄膜作为微型超级电容器的集流体;步骤2、将溅射有Au薄膜的SiO2/Si基体置于ECR等离子体加工系统的基片架上并装入真空腔体沉积石墨烯纳晶碳膜作为微型超级电容器的电极材料;步骤3、在制备好的两片石墨烯纳晶碳膜表面滴加配置好的PVA/H3PO4电解液后面对面组装,然后室温条件下放置10~12h,待电解液干燥成膜后得到石墨烯纳晶碳膜基微型超级电容器;解决了现有的石墨烯基微型超级电容器电极与集流体间的兼容性相对较差的问题。